德国ATL公司位于慕尼黑，ATL专注于工业级准分子激光器的研发与制造已有23年的历史，是全球最著名的准分子激光器制造商之一；其生产的各系列准分子激光产品被广泛应用于微纳制造、激光医疗、光谱科学……领域；
ATLEX系列短脉冲准分子激光器使用金属陶瓷腔技术并利用全新的超快预电离技术确保了了设备在长期高稳定性运行的同时提供大能量输出——强化的超快预电离技术（专利）可以在约几纳秒的脉宽条件下产生较大单脉冲能量并加强了所有高压部件的可靠性。固态开关技术保证了长期工作的稳定性，及超长使用寿命。
该系列激光器的主要特点：
*超快预电离技术
*激光腔体<3L
*全新技术的金属陶瓷反射腔
*风冷，重复频率高达500Hz
*系统集成RS485,RS232,光纤接口
*能量稳定模式
*欧洲CE标准
*US & EU专利
光束模式——均匀平顶分布，非常适合TOF等领域对于聚焦平面上的获得近似相同的光功率密度；
固态开关，与上一代闸流管技术相比拥有超长使用寿命，及长期使用稳定性；
超长寿命金属陶瓷腔
- 紧凑型设计193nm/248nm激光光源，适合工业OEM嵌入应用
- 极快的光学脉冲上升沿，短脉冲；
- 卓越的峰值功率；高能量稳定性
- 先进的金属陶瓷反射腔技术，TMC技术超强耐腐蚀，性能稳定，超长寿命
- 风冷控温，主动（激光器散热）热量管理
- 内部集成的真空泵及卤素过滤器全固态开关技术
- 超快预电离技术
- 便于处理气体的四阀门系统
- 系统集成RS-232，RS-485，USB及光纤接口实现控制
- 通过欧盟CE认证及RoHS无铅认证
工作气体
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ArF
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KrF
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输出波长(nm)
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193
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248
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高压转换技术
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固态开关
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固态开关
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最高重复频率（Hz）
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300
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500
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300
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500
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最高脉冲能量(mJ)1
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10
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10
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15
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15
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最大平均功率(w)
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2.4
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4
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4
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6
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输出脉冲宽度(ns;typical)2
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5~8
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输出能量稳定性（Stand. Dev. ）
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3%
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输出光束尺寸（mm;VxH）
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4x6
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输出光束发散（mrad;VxH）
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1x2
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外形尺寸重量（cm,LxWxH;kg）
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63x40x30;65
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冷却
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风冷
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电源要求
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230VAC/6.3A/50~60Hz/单相
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所有参数指标为典型值；随技术升级参数可能改变，恕无法及时通知 在低重频下测量结果；（在配备能量稳定模式时容许10%的能量衰减） 2.FWHM(激光脉冲半高全宽)的典型值
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ATLEX激光器构造紧凑，安全性能高，在医疗（眼科手术）、微电子工业（光纤光栅刻写）、微加工和科研等领域有广泛的应用。 关于光纤布拉格光栅刻写 ATLEX的193nm和248nm特殊相干性短脉冲，与所有类型的光纤布拉格光栅写入兼容。 关于激光微纳加工 193nm/248nm作为深紫外光源常用于激光“冷加工”领域，非常适合玻璃、高分子、金属薄膜……材料的加工。 短脉宽的准分子激光脉冲能量为10-20mJ，相当于兆瓦级峰值功率,可以应用在快速成型，微加工和微电子领域。可应用于生物芯片/聚酯/玻璃/硅片/薄金属/陶瓷等材料的加工。 关于APLI大气压力激光器离子化 APLI (Atmospheric Pressure Laser Ionization) 是一种粒子性破坏性离子化放大，对于要求高的应用，如低浓度 PAH 确定，聚合物研究等，有无与伦比的敏感性和选择性。 关于眼科手术 应用飞行光斑方式结合不规则投射技术可以帮助医生完成很多眼科手术，治疗近视/远视/散光和角膜不规则。
主要领域如下：
- 准分子微纳加工（Micromachining）
- 激光消融（Laser ablation ）
- 眼科手术（Medicine (refractive surgery）)
- 光谱学（Spectroscopy）
- Metrology（计量学）
